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泵

泵（FPD用電動CT泵）

在要求均一涂膜的液晶、PDP、有機EL等基板用涂膠對應電動泵。高信賴的CT泵構(gòu)造更加進化、能夠控制定流量。zui大吐出量：３０ml、６０ml、１００ml、２００ml、可以根據(jù)顧客基板的尺寸結(jié)合用途選擇泵。

泵（電動CT泵）

對應微細化半導體晶片的下一代電動泵。世界（注）CT泵的構(gòu)造開發(fā)、低發(fā)塵、除泡性好、以簡單的構(gòu)造實現(xiàn)了高精度。

泵（電動波紋管泵）

使用方便控制的步徑馬達。

泵（空壓波紋管泵）

氣缸驅(qū)動的低成本、低價格泵。

泵（泵控制器）

控制電動CT泵、電動波紋管泵的控制器單元。

泵（FPD用電動CT泵）

電動CT泵F-EPT系列F-EPT30型

●于液晶、PDP、有機EL機等基板用狹縫涂布機對平均涂抹的要求。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質(zhì)不可）※選定，導入時，請事前聯(lián)絡、咨詢本公司

zui大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.05MPa	3～30	0.05～3

電動CT泵F-EPT系列F-EPT60型

zui大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.05MPa	6～60	0.05～5

電動CT泵F-EPT系列F-EPT100型

zui大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.05MPa	10～100	0.05～5

電動CT泵F-EPT系列F-EPT200型

zui大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.05MPa	20～200	0.1～15

電動CT泵F-EPT系列F-EPT300型

zui大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.05MPa	30～300	0.1～12

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日本小金井定量吐出泵

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